俄罗斯研发euv光刻机

花生瀑布 · 发表于 2025-12-19 09:04:39

俄罗斯正加速推进EUV光刻机研发，计划通过三阶段路线图在2036年前实现亚10纳米制程，采用11.2纳米波长技术路径，但面临资金、人才及产业链重建等挑战。

俄罗斯科学院微结构物理研究所主导的EUV光刻机研发采用‌非主流11.2纳米波长技术‌（ASML为13.5纳米），旨在提升分辨率并降低复杂度，具体分三阶段推进：‌‌

‌2026-2028年‌：开发40纳米制程设备，配备双镜物镜系统，套刻精度10纳米，曝光场3×3毫米，每小时产能超5片晶圆。

‌2029-2032年‌：升级至28纳米制程（潜力14纳米），采用四镜光学系统，套刻精度5纳米，曝光场26×0.5毫米，产能提升至50片/小时。

‌2033-2036年‌：实现亚10纳米制程，使用六镜配置，套刻精度2纳米，曝光场26×2毫米，产能达100片/小时。‌‌来源百度

一只兔子 · 发表于 2025-12-19 09:46:06

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狗尾草 · 发表于 2025-12-19 09:51:43

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xuzhongxin米农 · 发表于 2025-12-19 10:14:24

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美好家乡好莱芜 · 发表于 2025-12-19 10:32:24

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心连心 · 发表于 2025-12-19 10:52:39

一分到手

口镇酱牛肉 · 发表于 2025-12-19 11:01:59

boilings · 发表于 2025-12-19 11:03:45

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senan · 发表于 2025-12-19 11:05:35

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疯狂动物城 · 发表于 2025-12-19 11:24:41

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还没睡醒 · 发表于 2025-12-19 12:12:13

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寂寞的苍蝇 · 发表于 2025-12-19 12:27:27

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口镇酱牛肉 · 发表于 2025-12-19 12:29:08

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owxch · 发表于 2025-12-19 12:30:50

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倚门不笑 · 发表于 2025-12-19 12:43:04

fazai169 · 发表于 2025-12-19 12:47:45

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fazai169 · 发表于 2025-12-19 12:57:55

路过

清清泉水 · 发表于 2025-12-19 12:59:36

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启航 · 发表于 2025-12-19 13:09:13

六百万克拉 · 发表于 2025-12-19 13:29:56

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